洁净度是如何分级的标准是什么

洁净度就是按照空气中的微粒子数量来分级的,主要是飘尘、还有细菌等有害物质。另外根据不同的工艺需求,对温湿度、压力、噪音等也会有一定的控制。

洁净度分级都是检测一定空间范围内的微粒子。最常用的是美国联邦209E标准,检测的是1立方英尺(ft?)。国际ISO14644检测的是1立方米(m?)。微粒子的尺寸有0.1-5μm,一般是以0.5μm作为参考值。

比如百级洁净室,1立方英尺(ft?)内0.5μm的微粒子有100个,千级就是1000个,万级就是10000个,非常好理解。所以数值越小,洁净等级越高。

美国联邦209E与国际ISO等级对照表